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真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面可升溫到350℃。該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，做多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，需自行將引入腔體的信號線連接到測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。

國產(chǎn)手動高溫真空探針臺 晶圓檢測 氣敏測試，可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）

小型真空探針臺 太陽能電池測試夾具，可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）

常溫半導體測試 氣敏測試 大氣探針臺是一種用于半導體器件電性能測試的重要設(shè)備，通常由精密的機械結(jié)構(gòu)、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導體芯片、集成電路和其他微電子器件進行直接的電性能測試，從而為研究和生產(chǎn)提供有價值的信息。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。

大氣探針臺 電信號測試是一種用于半導體器件電性能測試的重要設(shè)備，通常由精密的機械結(jié)構(gòu)、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導體芯片、集成電路和其他微電子器件進行直接的電性能測試，從而為研究和生產(chǎn)提供有價值的信息。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。